| 是否进口：否 | 产地：北京 | 加工定制：是 |
| 品牌：北京 | 型号：ACU | 测量范围：0.1-500 |
| 测量精度：0.1 | 产品适用范围：空气、氧气、氮气、氢气 | 10：10 |
| 11：10 | 12：10 |
质量流量计采用 CMOS 半导体工艺制成的 MEMS 微机电传感器。流量测量工作原理为热扩散原理，芯 片中央设加热器，加热器的上下游两侧分别配置热电堆感温元件。加热器和热电堆的底部设有隔热空 腔，可使感温元件高效检测经过加热器的气流热量变化。加热元件导入恒定电流后，其附近区域形成 相应的温度场。气体介质流动时，温度场变化，气体质量流量(流速)与温度场的变化相关，因此***测 量温度场变化可反算出气体质量流量(流速)。 由于利用热扩散原理测量的是气体的质量流量，理论流 量与压力、温度无关，不需要进行压力和温度补偿，精度较高。MEMS 技术将热扩散原理应用至微米 尺度，传感器灵敏度高。因此，综合热扩散原理和 MEMS 技术制造的质量流量计具有精度高、量程宽、 灵敏度高、计量精准的特点。比例电磁阀是电磁驱动的控制阀。采用的比例电磁阀具有磁滞低、重复性高、反应灵敏的性能特点， 确保良好的动态特性，且具有宽泛的流量系数 Cv范围。采用弹性阀座密封件，在一定压力范围内，阀 门可关断截止。
质量流量计和质量流量控制器通常用氮气(N2)标定。 质量流量的单位规定为: SCCM (标准毫升/分)； SLM(标准升/分) 标准状态规定为: 温度 T=273.15K (0℃)；压力 P=101.325KPa (760mm Hg) F.S. (Full Scale): 满量程值
